海外咨讯[材料]
德国博世公司开发出压力传感器新工艺
2005-6-13 9:08:00
德国博世（Robert Bosch GmbH）日前在采用MEMS技术的压力传感器方面成功开发出了新的制造工艺。在韩国汉城召开的MEMS国际学术会议“TRANSDUCERS’05”上进行了技术发表。
过去绝大多数硅制压力传感器均使用MEMS技术，
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