概况

在微电子领域，杂质控制是生产过程中一个十分重要的组成部分。原料中的微量杂质就能够带来极其严重的后果。

技术开发

VTT针对此方面开发出了一款新的设备——高温分解分析器，此种设备可以用来检测硅晶片中气体或固体混合物杂质，并能分辨杂质的种类及含量。部分晶片中杂质的形成主要来源于生产过程中的周边环境，例如室内空气或者是存放晶片的盒子。其他的杂质来源于其他混合物，如生产中使用的光敏材料及去漆的化学品。此项发明已经申请了专利保护。

方案

高温分解分析器有助于帮助微电子领域的厂家对生产过程中产生的杂质种类、含量进行分析，从而做出有针对性的改进。整套系统是自动的、轻便的且非常经济。