在许多商业设备中，微机电系统发挥着非凡的作用，例如压力传感器、加速计、陀螺仪等等。但由于自身的不稳定性，微机电系统在很多方面的应用都受到了一定的限制。其不稳定性的主要原因就是由于结构中杨氏系数与静电组件共同造成的温度参数问题。

技术开发

新的发明十分简单经济，只需要在微机电系统的片状电容上加一个直流电压，这个电压可以不但可以补偿内部环流的电压（环流电压是造成传感器内部带电的原因），也可以增加芯片组内部电压引起的温度参数，这样第一部就可以减小杨氏系数与静电组件造成的温度影响。当外部电源不存在的时候，在组件上的内部电压是一个直流电压，他可以通过内部电容电量曲线表衡量。

应用领域

经过改良后的MEMS提高了稳定性，在导航及定位方面都可以得到应用。